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外媒：我们可能突破了EUV！
原创
小土豆
半导战忽局
2025年12月18日 08:03
北京
4人
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12月17日晚，据多家外媒报道，深圳团队可能制造出了首台EUV原型机。在深圳一家高度安全的实验室里，中国科学家制造出了华盛顿多年来一直试图阻止的设备，一台能够生产尖端半导体芯片的机器原型。该原型机于2025年初完成，目前正在测试中，几乎占据了整个工厂车间。它由ASML的前工程师团队开发，据两位项目内情人士透露，他们对之前的EUV进行了逆向工程了。中国的半导体产业可能已经实现了其最重要的技术飞跃之一。该EUV预计将在2030年前实现芯片量产，设备由ASML旧部件组装而成。曾一直试图通过逆向工程和挖角人才来复制ASML的技术。如今，多年努力终于带来了回报。消息人士称，这台机器已运行并成功产生极紫外线，但尚未生产出可用的芯片，在如此短的时间内取得进展令人震惊。今年4月，ASML首席执行官Christophe Fouquet曾表示，中国需要“很多很多年”才能开发出这种技术。但这台原型机的存在表明，这比此前估计中国在半导体竞赛中赶上美国的时间提前了许多。。尽管EUV光刻机内部结构极其复杂，目前尚不清楚工程师团队在其原型中采用了何种技术。这比此前估计中国在半导体竞赛中赶上美国的时间提前了许多。
尽管如此，仍面临重大技术挑战，尤其是在复制西方供应商生产的精密光学系统方面。据两位人士透露，二手市场上可获得的旧ASML部件使其能够制造国产原型机，原本设定目标是在2028年前生产该原型机上可用的芯片。据悉，HW在协调全国范围内的公司和国家研究机构组成的网络，涉及数千名工程师，发挥着关键作用，在国家层面上，可能由丁亲自主抓。
外媒将其成为是中国的曼哈顿计划。ASML于2001年制造了首个可用的EUV技术原型，并告诉路透社，直到2019年才生产出首批商业化芯片，耗时近二十年和数十亿欧元的研发投入。据一位知情人士透露，一位从ASML招募的资深工程师惊讶地发现，他慷慨的签约奖金居然附带一张化名证件。签约奖金起于300万至500万元及购房补贴。进入后，他认出了其他同样使用化名工作的前ASML同事，并被指示在工作中使用他们的化名以保密。基地外的任何人都不能知道他们在建造什么，甚至不知道他们在哪里。团队中包括刚退休的中国出生的前ASML工程师和科学家，他们是主要的招聘目标，因为他们具备敏感的技术知识，但离职后面临的职业限制较少。两名现任ASML在荷兰的华裔员工称，自2020年以来，他们一直被HW的招聘人员联系。消息人士称，ASML的老兵们使深圳的突破成为可能。没有他们对这项技术的深入了解，逆向工程几乎不可能。招募者包括ASML前光源技术主管Lin Nan，其团队在中科院上海光学研究所18个月内申请了8项极紫外光源专利。ASML最先进的EUV系统大小约为一辆校车，重量达180吨。据两位人士称，在多次尝试复制其尺寸失败后，深圳实验室内的原型机体积扩大了数倍以提升其性能。据称，原型机相比ASML的机器较粗糙，但足够运行以进行测试。两位知情人士表示，原型机落后于ASML的设备，主要原因是研究人员难以获得像德国蔡司那样的光学系统。中科院长春光学精密力学与物理研究所（CIOMP）在将极紫外光集成到原型机光学系统方面取得了突破，使其能够于2025年初投入运行，尽管光学系统仍有相当的改进空间。在三月的线上招聘活动中，该研究所表示，将向博士研究人员提供“无上限”薪资和最高400万元的研究资助，外加100万元个人补贴。研究公司SemiAnalysis的分析师、前ASML工程师杰夫·科赫表示，如果“光源功率足够、可靠且不产生过多污染”，中国将取得“有意义的进展”。“毫无疑问，这在技术上是可行的，只是时间表的问题，”他说。“中国的优势在于现在已有商业EUV，所以他们不是从零开始。”两位人士表示，为了获得所需零件，正在从旧ASML机器回收零部件，并通过二手市场从ASML供应商处采购零件。消息人士表示，有时会利用中介公司网络来掩盖最终买家。据一位知情人士和另一位消息人士透露，原型机使用了日本尼康和佳能的出口限制组件。消息人士称，国际上经常拍卖较旧的半导体制造设备。根据阿里拍卖平台的一次盘点，拍卖最近一次出售的旧ASML光刻设备甚至在2025年10月。据知情人士透露，一支约100名应届大学毕业生团队专注于逆向工程EUV和DUV光刻机的元件。每位工人的办公桌都被单独摄像机拍摄，记录他们拆解和重新组装零件的工作，成功组装组件的员工会获得奖金。据四位熟悉HW运营的人士透露，虽然EUV项目由政府主导，但HW参与了从芯片设计和制造设备到制造，再到最终集成到智能手机等产品的供应链每一步。据一位知情人士透露，CEO任向国家通报进展情况。HW已派遣员工到全国各地的办公室、制造厂和研究中心参与这项工作。据知情人士透露，分配到半导体团队的员工常常在现场过夜，工作日内被禁止回家，处理更敏感任务的团队也无法使用手机。HW内部很少有员工了解这项工作的范围。“为了保护项目的机密性，团队彼此隔离，”其中一位知情人士说。“他们不知道其他队伍都在做什么。” |
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