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发表于 2024-3-30 08:12:39
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极紫外光刻技术 光谷抢占激光产业新风口
湖北日报全媒记者 张真真 通讯员 汪慧
3月28日，小米汽车SU7发布会上，雷军宣布，小米汽车的城市NOA将会在今年4月开启用户测试。
NOA（Navigate on Autopilot），指点到点辅助驾驶，将实现自动驶入驶出高速公路匝道、自动辅助变道、超车等新奇功能，其技术主要依靠激光雷达完成。
3月29日，在武汉未来科技城现场发布的《2024中国激光产业发展报告》（简称《报告》）显示，2023年中国激光雷达上车量达71万颗，同比增长450%。
不仅是激光雷达，激光投影、极紫外光刻等新“风口”也接连涌现。《报告》预测，中国激光产业正进入加速发展的“铂金十年”。
同步举行的中国光谷绿色激光产业交流会上，激光行业专家学者、企业嘉宾等100余人到场，共话激光产业发展新未来。
激光已成制造强国的革命性手段
2023年12月26日，智能汽车问界M9上市，搭载业界首款32英寸车规级投影巨幕。
这是激光投影的全新应用。《报告》显示，2023年，中国激光投影在家用市场的出货量占比已达67.6%，激光显示正得其势。
随着金属3D打印兴起，2023年中国激光增材制造市场规模达到66.9亿元，同比增长约30%。
“激光制造已成为制造强国提升制造业水平的革命性手段。”激光加工国家工程研究中心主任、教授朱晓介绍，激光不仅赋能传统产业，在光伏板划线切割、圆柱电池极耳/极片焊接等细分领域已几乎取代传统切割、焊接工艺。在激光雷达、激光医疗设备、激光显示等新兴产业上，将迎来产业快速发展期。而在未来产业上，激光在可控核聚变、反物质研究等领域正发挥越来越重要的作用，国外已实现利用高能量激光的脉冲压缩氘氚颗粒，实现小规模可控核聚变。
激光发源地诞生众多“第一”
光谷是中国激光产业的发源地之一，历经50余年发展，已成为中国最大的激光设备制造基地之一。
位于武汉未来科技城的光谷国际绿色激光产业基地，已聚集华工科技、锐科激光、帝尔激光、逸飞激光等上市公司，拥有航天三江激光院、锐晶激光等一批国家专精特新“小巨人”企业，聚集激光企业200多家，成为湖北激光产业的硬核高地。
全球首创激光转印技术、国内首台120kW超高功率光纤激光器、国内首次突破1.5微米光纤放大器技术……一系列“第一”在武汉未来科技城诞生。
为打造具有全球影响力的激光产业创新高地，光谷已发布实施专项政策，从支持激光企业加大研发投入、设备投入、规模提升到人才引进，光谷给予全方位资金支持。
朱晓认为，光谷要持续巩固扩大激光产业优势，抢占产业新风口，充分发挥公共服务平台的作用，支持龙头企业加快发展，让更多“未来之光”闪耀。
光源技术将助力开展极紫外光刻研究
“光”是一个很大的家族。除了可见光，探测宇宙，可以选用无线电波；跟踪飞机，可以选用微波（雷达）；要“看清”病毒、蛋白质分子甚至金属原子等微观物体，必须选用与这些微观物体大小相近或更短波长的光束。
同步辐射光源，其波长范围宽，从远红外到硬X射线连续可调，可根据不同需要选取相应波长的光，且同步辐射X射线比常规实验室X光机亮度高10亿倍以上。
“同步辐射光源是当前国际上应用领域最广、支撑用户数量最多、成果产出最多的科技基础设施，利用同步光源已有5项成果获得了诺贝尔奖，也在生物医药、微电子、新材料、催化等领域发挥了重大作用。”武汉大学先进光源研究中心主任何建华教授介绍，目前全球近60台同步辐射光源在运行，其中25台为第三代光源，3台为第四代光源。我国大陆现有北京同步辐射装置（第一代）、合肥光源（第二代）、上海光源（第三代）3台光源装置在运行中。
据介绍，武汉先进光源研究中心以最先进的第四代同步辐射光源技术作为研究目标，其亮度可比第三代光源提高百倍以上，将极大增强同步辐射光源前沿研究能力。该中心将兼顾产业应用与科学研究需求，瞄准光电器件、极紫外光刻、新型显示、绿色能源、生物医药等领域的关键技术进行研发。 |
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