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深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台是国内高校系统中独立建成的规模最大、工艺最完整、运营职业化的化合物半导体光电芯片公共服务平台之一。中心建筑面积2600平方米,其中千级、百级及万级洁净区面积达2100平方米。作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台,配置120余台套先进教学与研发工艺设备,构建起覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、切磨抛及测试表征等关键环节的全流程工艺体系,可提供“设计—加工—封装—测试”一站式技术解决方案。https://mp.weixin.qq.com/s/OV_KxO7QEqKQCd_1nFq5tw |
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